千级净化工程技术是一门新兴的技术。在科学实验和工业生产活动中，产品加工的精密化、微型化、高纯度、高质量和高可靠性要求具有一个受控尘埃粒子污染的生产环境。早在20世纪，20年代美国航空业的陀螺仪制造过程最先提出了生产环境的净化要求，为消除空气中的尘埃粒子对航空仪器的齿轮、轴承的污染，他们在制造车间、实验室建立了“控制装配区”，即将轴承的装配工序等与其他生产、操作区分隔开，供给一定数量的过滤后的空气，再加上良好的管理。飞速发展的军事工业要求防止放射性扩散，提高原材料纯度、零件加工与装配精度，提高元器件和整机的可靠性与延长寿命等，这些都要求有一个“干净的生产环境”。美国一家导弹公司曾经发现，在普通的车间内装配惯性制导用陀螺仪时平均每生产10个产品就要返工120次，当在控制空气中的尘粒污染的环境中装配后,返工率可降低至2次；在无尘与将空气有尘粒达1000pc/m3 (平均直径为3pm，pc为粒子个数的缩写)的环境中装配转速为12 000r/min的陀螺仪轴承进行对比,产品使用寿命竟相差100倍。从这些实践,人们认识到空气净化在军工产品生产中的迫切性，这就构成了当时发展洁净技术的推动力。
    20世纪50年代初高效空气粒子过滤器(High Efficiency Particulate Air filter-简称HEPA)在美国问世，取得了千级净化工程技术的第一次飞跃，这一成就的取得使美国在军事工业和人造卫星制造领域建立了一批以"HEPA"装备起来的工业洁净室，相继应用于航空、航海的导航装置、加速器、陀螺仪、电子仪器等制造工厂。英国也在20世纪50年代在陀螺仪生产等工厂中建立了一些洁净室；日本从20世纪50年代开始便在半导体制造工厂中应用洁净技术；前苏联也在同时期编制了所谓“密闭厂房”的典型设计。净化车间工程技术在人们的尝试、实践中得到日益广泛的应用，工业生产技术、科学实验在应用洁净技术中获得了丰厚的回报，人们便以巨大的兴趣和精力发展洁净技术，洁净技术随着科学技术的发展和工业产品的日新月异而健康、快速地发展。