洁净室内生产设备和产品生产过程的产尘量主要取决于产品生产过程的特点、选用的设备状况及其采取的技术措施、选用的原料辅料、工艺介质的纯度及其输送系统等，近年来，由于净化工程设计中采取了各种技术措施，降低了这类产尘量，如采用封闭隔断及局部排风措施等，使产尘区域相对于周围空间有一定的负压，防止粉尘扩散开来，以至危害其他工序的洁净度；采取排风罩等措施将工艺产尘排走，尽可能减少扩散到生产车间的粉尘量；车间机械设备的轴承、齿轮、传动皮带等运动部件在工作过程中，由于润滑油升温炭化及机械磨损等原因而散发到空气中的尘埃，越来越引起某些净化工程设计的关注。

    净化工程设计在集成电路生产中，随着集成度的提高，要求生产环境控制0.1tm尘粒达到1级或更严的洁净度，为了减少洁净室建造费用并可靠地达到高级别要求，目前许多大规模集成电路工厂采用微环境技术和生产工艺自动化技术，采用机械手、机器人，从而减少了室内人员等因素，使室内产尘总量下降。在此情，况下，这些机械运动设备的产尘量和生产过程的产尘量所占份额就不断提高。但一般洁净室在通常情况下，室内最主要的污染源仍然是人。

    无尘净化工程对于生物洁净室，包括制药工业，往往更关注人体的散发菌量。室内空气中的徵生物主要附着在微粒上和由人体鼻腔和口腔喷出的飞沫中。