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千级净化工程之洁净室设计
发布时间:2018-08-13   浏览次数:4923

文章摘要: 千级净化工程首先要了解所设计的洁净室的用途、使用情况、生产工艺特点等,比如洁净室设计的是集成电路生产用洁净室、首先要弄清楚产品的特性-集威度、特形尺寸和生产工艺特点;对洁净室的要求-空气洁净度等级、温湿度及其控制范围、防微振、防静电和高纯物质的供应要求等;其次要充分了解业主拟采用的生产工艺、工艺设备情况和对工艺布局的设想。
    千级净化工程首先要了解所设计的洁净室的用途、使用情况、生产工艺特点等,比如洁净室设计的是集成电路生产用洁净室、首先要弄清楚产品的特性-集威度、特形尺寸和生产工艺特点;对洁净室的要求-空气洁净度等级、温湿度及其控制范围、防微振、防静电和高纯物质的供应要求等;其次要充分了解业主拟采用的生产工艺、工艺设备情况和对工艺布局的设想。在此之后,设计人员应协同业主确定洁净厂房各功能区的区划,确定各类生产工序的空气洁净度等级和各种控制参数-温度、相对湿度、压差、微振动、高纯物质的纯度及杂质含量:初步选择千级净化工程中洁净室的气流流型并进行净化空调系统的初步估算及设计方案的对比、确定;进行洁净厂房的平面布置、空间布置,此时必须首先安排好产品生产区与生产辅助区、动力公用设施区的合理布局,通常是顺应产品的生产工艺流程,在确保产品生产环境要求的情况下做到有利于产品生产的操作、管理,有利于节约能源、降低生产成本。在进行洁净室的平面布局时必须符合国家的现行规范中有关安全生产、消防环保和职业卫生方面的各种要求;在进行洁净室平面布局时应充分考虑人流、物流的安排,尽力做到短捷、流畅。在净化车间工程设计时应充分考虑产品生产讨程和洁净室内各种管线、物流运输的合理安排。在确定洁净厂房的平面、空间布置后,对洁净室设计涉及的各个专业提出设计内容、技术要求及设计中应注意的相关问题。单向流气流的净化原理是活寒和挤压原理,把灰尘从一端向另一端挤压出去,用洁净气流置换污染气流。包括有垂直单向流和水平单向流。
  1. 垂直单向流是气流以一定的速度(0.25m/s-0.5m/s)从顶棚流向地坪的气流流型。这种气流能创!造100级、10级、1级或更高洁净级别。但其初投资很高、运行费很高,净化工程单位在工程中尽量将其面积压缩到最小,用到必须用的部位。
  2. 水平单向流是气流以一定的速度(0.3m/s-0.5m/s)从一面墙流向对面的墙的气流流型。该气流可创造100级的净化级别。其初投资和运行费低于垂直单向流流型。
  3. 非单向流气流的净化原理是稀释原理。一般型式为高效过滤器送风口顶部送风:回风的型式,有下部回风、侧下部回风和顶部回风等。依不同送风换气次数,实现不同的净化级别,其初投资和运行费用也不同。
  4. 混合流气流是将垂直单向流和非单向流两种气流组合在一起构成的气流流型。这种气流的特,点是将垂直单向流面积压缩到最小,用大面积非单向流替代大面积单向流以利节省初投资和运行费。
 


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