一、净化工程团队采用余热回收利用技术。电子洁净车间内的温度，夏季比室外空气温度低，冬季比室外空气温度高，我们在排气系统设计时应用了热管热交换器，该交换器具有传热效率高、结构紧凑、流体阻损小等优点，采用该交换器回收余热，作为室外的预冷及预热。此种设计方案在实际应用中，作为电子洁净车间废热回收和工艺过程中热能利用的节能设备，取得了显著的节能效果。
  二、净化工程团队采用高效率的风机过滤机组。简称FFU（Fan Filter Unit），该机组过滤后的洁净空气在整个出风面以0.45M/S±20%的风速匀速送出，工作效率大于45%以上。用以取代传统洁净室风量循环系统中的大型可变距轴流风机或空调箱系统。
  三、整个净化工程的电力系统采用高、低压及负载侧并联进相电容器，提高系统功率因数，改善电功率，提高有效功率，减少耗能。因为配电容量不足时，电能负载加大，电压降亦大，形成电压不足、电能及发光使用效率降低，造成能源的浪费。净化工程单位认为这种方案的使用有利于净化工程系统的节能。