1、净化工程和周围辅助性站房内有强烈振动的设备/包括水泵等及其通往洁净室的管道,应采取积极隔振措施。  

  2、净化工程公司对净化工程厂房内外各类振源,应测定其对净化工程厂房的综合振动影响。如受条件限制,也可根据经验对综合振动影响进行评价。并应与精密设备、精仪器仪表的允许环境振动值进行比较,以确定对其采取必要的隔振措施。 

  3、精密设备、精密仪器仪表的隔振措施,净化工程团队应考虑减少发生量、保持净化工程内合理的气流组织等要求。当采用空气弹簧隔振台座时,应对气源进行处理,使其达到净化工程内的空气洁净度等级。