10万级净化车间安装内用品除了进出10万级净化车间安装用的洁净衣、鞋、头罩、帽、手套、口罩外，还有例如纸张文具、桌子、椅子、芯片盒、搬运车、笔记本、告示板及垃圾箱、吸尘器等物品。

　　10万级净化车间桌椅一般以不锈钢材质，并需表面加工处理为之，若不得不使用镀锌品或木制品，其表面须施环氧树脂(Epxoy)加工以防表面发尘。工作桌最好有打洞，边缘有倒角。以利气流之运动。椅子尽量采用没有背及脚踏板者，椅脚高度以坐下来脚可以触到地板者为原则。但若一定须使用高脚椅时，则要准备脚踏环。桌及椅子之脚最好安装上塑料小轮子或套上橡胶套。

　　10万级净化车间芯片盒为放置芯片之用，材质以选取择不易摩损、不发尘易清洁之材质如铁弗(Teflon)等，至于搬运车则以构造简单为原则，并忌使用折迭式，材质仍采用不锈钢为宜，车轮为耐磨性高之橡胶轮胎，车轮轴承采用双密封式滚珠轴承。推送搬运车时不得急速运推而以缓行为适。笔记本之纸质应采用无尘纸制成者，且不得使用影印数据，若非万不得已须使用，则须将文件放在透明之塑料套内或加覆背，同时不可于室内撕破或将纸揉成一团，避免造成环境之污染。

　　10万级净化车间普通黑板及粉笔当然不能在高万级净化车间安装内使用，必要时可在更衣室等万级净化车间安装较低等级的区域使用白板。万级净化车间安装内不得放置清洁用具，垃圾桶宜使用塑料制品或不锈钢，且置于维修区中的固定位置，桶须覆以盖子，以利管制，并定期清理。

　　真空吸尘器，其功能是在吸取10万级净化车间安装内地板上、下及设备上附着之尘粒或液体以防止这些尘粒之再飞扬，以达到清洁的目的，由于真空吸尘器在作业时会有排气产生，若未经处理，将严重影响10万级净化车间安装之洁净度和气流，因而真空吸尘器在排气口均装有HEPA过滤器，以除去尘埃。唯现今之高级万级净化车间安装均设有中央式吸尘系统，并于现场预留吸尘口，故一般之清洁过程均利用此中央系统，以减少使用真空吸尘器时的气流干扰,在使用中央式系统时，须注意排气旦之控制避免使万级净化车间安装内之压力降低至规定范围以下。至于真空吸尘器因属万级净化车间安装内专用，故不可移至室外使用，若不用时应置于较低等级的万级净化车间安装中，旦每次使用后应清扫吸管、收尘箱等吸气系统。

　　10万级净化车间内的物品应按照要求进行准备，否则会对净化车间的洁净度有较大影响。