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电子光学车间净化

谈建设净化车间的必要性
发布时间:2016-05-13   浏览次数:5212

文章摘要:净化车间是特别设计之房间。因此净化工程对营造高标准的生产环境非常重要。

  净化车间是指将一定空间范围内的空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除,并将室内之温度、湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。

净化车间

  净化车间最主要之作用是控制产品(如硅芯片等)所接触的大气的洁净度以及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为净化车间。按照国际惯例,无尘净化车间级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓净化工程的无尘车间并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒,相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,净化车间无尘是必然的要求。

  每立方米将小于0.3微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A级。目前应用在芯片级生产加工的净化工程无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。5μm及以下的微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。因此净化工程对营造高标准的生产环境非常重要。


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